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      針對多晶硅項目潔凈廠房施工技術總結

      華銳凈化 2019-09-08 10:54:11 閱讀

      潔凈技術的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

      1.1.  潔凈室凈化原理

      1.1.1. 潔凈廠房內(nèi)不允許有存積灰塵的地方。

      1.1.2. 凈化程序  氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→通風管道→高效過濾器→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒→回風百葉窗→初效凈化。重復以上過程,即可達到凈化目的。

      1.1.3. 凈化參數(shù)

      1)  換氣參數(shù) 100000≧15次,1000≧30次

      2)  壓差  主車間相鄰房間≧5Pa

      3)  溫度  冬季﹥16℃±2℃  夏季﹤26℃±2℃

      4)  濕度  45%~65%

      5)  噪聲≤65Db(A)

      6)  新風補風量為總風量的10%~30%

      潔凈技術需要有潔凈廠房和潔凈設備來支撐,潔凈室是潔凈廠房的核心。

      1.2.  潔凈廠房是指生產(chǎn)工藝有空氣潔凈要求的廠房。潔凈廠房是一個系統(tǒng)工程,它由空調(diào)機、供熱、供冷、送回風管、過濾、自控等系統(tǒng)組成。潔凈級別要求高的,還有風機過濾單元(FFU)、局部層流罩、墻板、地面組成。

      1.3.  潔凈技術的應用領域

      1.3.1. 主要應用領域:電子、制藥、醫(yī)療、衛(wèi)生、食品、化妝品和軍工。

      1.3.2. 中國電子信息產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展為潔凈技術在國內(nèi)的普及創(chuàng)造了新機遇。

      1.3.3. 蓬勃發(fā)展的中國醫(yī)藥行業(yè)為潔凈行業(yè)拓寬了市場,GMP《藥品生產(chǎn)管理規(guī)范》是藥品生產(chǎn)的質量保證,它體現(xiàn)了對藥品生產(chǎn)的全過程控制的要求,對生產(chǎn)中影響質量的主要因素提出了基本控制要求,產(chǎn)品的生產(chǎn)質量是靠潔凈技術來保證的。醫(yī)療衛(wèi)生事業(yè)的發(fā)展也要求潔凈手術室的需求量必須增加。

      1.4.  潔凈廠房的結構材料

      1)  凈化廠房墻、頂板采用75mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。

      2)  圓弧墻角、門等采用專用氧化鋁型材制造。

      3)  地面采用環(huán)氧自流坪,保證潔凈室潔凈度。

      4)  送回風管采用熱鍍鋅鋼板制作。

      5)  高效送風采用不銹鋼框架,美觀清潔;沖網(wǎng)板采用烤漆鋁板,不生銹、不產(chǎn)塵、易清潔。

      1.5.   潔凈廠房發(fā)展趨勢

      越來越多的工業(yè)部門都必須在潔凈的環(huán)境下實現(xiàn)某些類型的生產(chǎn)工藝,潔凈技術的典型應用開始于化工,藥品生產(chǎn),精密機械制造、光學、微電子,現(xiàn)在其它許多新興工業(yè)部門應用,如微系統(tǒng)技術、生物技術、傳感器技術、仿生學,在所有這些生產(chǎn)領域,對產(chǎn)品質量的要求一直在增加。對潔凈生產(chǎn)環(huán)境的要求也是如此,即使是由各種不同德因素造成的最小污染,也會導致高比例的有缺陷產(chǎn)品、廢品,因此,必須將影響質量的環(huán)境因素降至最低,保證優(yōu)化生產(chǎn)工藝成本,同時使合格產(chǎn)品的產(chǎn)出達到最大,廢品最少。

      潔凈技術的發(fā)展呈現(xiàn)如下明顯的趨勢:

      1)  在已采用潔凈室技術的生產(chǎn)中,各部分對潔凈技術的要求在增加。

      2)  對越來越多的公司、工業(yè)部門和產(chǎn)品而言,潔凈廠房已成為其一個組成部分。

      3)  潔凈產(chǎn)品的生產(chǎn)廠商將他們對潔凈度的要求轉移到所有原材料生產(chǎn)上,所有供貨商也不得不采用潔凈生產(chǎn)技術。

      4)  技術要求的復雜性越來越高,技術合作應運而生。

      5)  在技術保障中應用潔凈技術。

      采用潔凈廠房作為生產(chǎn)技術環(huán)境的質量保障,已為許多產(chǎn)品和工藝所必須的。質量越來越成為高技術產(chǎn)品競爭中的關鍵因素,潔凈技術因此也成為一項不可缺的技術。

       

      施工過程質量控制要點

      2.1.   施工質量控制的主要方面

      重視施工組織設計的審查,重點審查風管預制程序及做法是否符合施工規(guī)范要求及工程特點、潔凈室細部做法,空調(diào)機安裝實施方案,初、中、高效過濾器安裝能否保證潔凈要求,尤其是高效過濾器的安裝程序。其次就是潔凈廠房大面積地坪施工防裂措施。

      2.2.   施工過程質量控制要點

      2.2.1. 對進場材料設備的驗收程序一定要嚴格把關,這是第一步;風管材質要符合設計要求,對原材脫脂工序堅持全檢。

      2.2.2. 地坪施工時防止大面積地坪出現(xiàn)裂縫,導致環(huán)氧自流坪開裂,破環(huán)潔凈廠房的潔凈度及美觀。在大面積回填夯實時嚴格保證施工質量,杜絕回填質量失控。施工時將新老混凝土結構層沖洗干凈,避免出現(xiàn)局部空鼓、開裂。

      2.2.3. 風管預制主要注意控制制作環(huán)境、加工儲存的環(huán)境和加工部件的清潔及密封。

      2.2.4. 潔凈廠房風管的安裝必須保證有一個清潔的環(huán)境,并且在管道、電氣、風管及土建施工必須按照一個合理的程序進行施工,才能保證風管安裝后的潔凈性和嚴密性。

      2.2.5. 空調(diào)機組的試運轉要脫開風管系統(tǒng),漏風量測試。

      2.2.6. 潔凈室壁板除檢查平整度、垂直度外,主要控制密封狀況,包括門窗的密封,水電氣孔洞密封,以及表面清潔要使用無脫落纖維織物搽拭。

      2.2.7. 交叉施工,主要是自流坪施工,潔凈廠房一定要防止施工過程產(chǎn)生的二次污染。自流坪地面施工,有對地坪打磨的工序,要使用自身帶吸塵裝置的打磨機。自流坪地面面層施工要掌握好時機,做早了交叉施工易造成損傷。

      2.2.8. 高效過濾器安裝。安裝前風管要先行吹掃,過濾器必須進行檢漏試驗,必要時全面檢驗,這是保證潔凈度的關鍵工序。安裝過程要符合規(guī)范要求。

      2.2.9. 施工過程中人員流動、工器具搬移和操作人員著裝要實行嚴格管制。第九凈化廠房地面平整度要求較高。 FFU噪聲是質量控制的一個難點,規(guī)范規(guī)定房間噪音應小于等于65分貝,主要是要選好廠家,并重視安裝過程中隔振措施。噪音過大操作人員長時間工作會造成損傷。

      2.2.10.    普通空調(diào)房間送風口散流器及回風口選型也是重點,質量差的,風速大時易引起振動造成噪音。

      2.2.11.  凈化廠房的風管及各種管線、橋架都設置于技術夾層內(nèi),由于檢查不便,往往形成死角,特別要注意各種管線的標高,作業(yè)前先進行圖上復核,然后實地復驗,以便及早發(fā)現(xiàn)管線交叉打架。

      2.2.12.  技術夾層及技術夾道密封膠封閉,夾道在封閉前將雜物清理干凈。

       

      潔凈廠房給排水管道安裝

      3.1.  潔凈廠房給排水安裝的一般規(guī)定

      3.1.1. 潔凈廠房內(nèi)的給水及排水干管應敷設在夾層內(nèi),引入潔凈室的支管應明敷。

      3.1.2. 管道穿過結界室吊頂時頂棚墻壁和樓板處應設套管,管道于夾套管之間采用可靠的密封措施。

      3.1.3. 消防箱的安裝與潔凈版施工相互配合,才能保證工期,而且保證消防箱安裝的美觀,實用。

      3.1.4. 施工中的問題及處理:

      3.1.5. 管道的預留洞位置被設備擋住及不合理,需重新打洞

      3.1.6. 現(xiàn)場安裝主管,避免預制的管道因不合適而出現(xiàn)返工的情況發(fā)生。

      3.1.7. 消防箱安裝后,因施工區(qū)域人員復雜,造成箱體損壞,部分箱體生銹,進行除銹刷油漆

       

      潔凈廠房通風空調(diào)系統(tǒng)施工

      近年來,潔凈空調(diào)在科研、醫(yī)療、高科技產(chǎn)品生產(chǎn)、實驗室以及電子產(chǎn)品、精密儀器生產(chǎn)領域的使用已越來越廣泛。隨著潔凈空調(diào)使用范圍的不斷擴大,潔凈度的等級也在提高。潔凈空調(diào)系統(tǒng)的技術要求、施工質量要求高,投資大,一旦失敗,無論從財力、物力、人力上講都會造成浪費,因此要搞好潔凈空調(diào)系統(tǒng),除完善的設計圖紙以外,還要求高質量高水平的施工。潔凈廠房廣泛應用于醫(yī)藥、食品、生物工程、電子、航空、航天領域。隨著科學技術的進步、產(chǎn)品質量的提高、電子、航空、航天產(chǎn)業(yè)對潔凈廠房的需求越來越多,要求越來越高。

      4.1.  主要工藝流程及主要操作要點

      現(xiàn)場準備→材料進場驗收→板材清洗→板材劃線→裁剪下料→咬口成形→法蘭鉚接→風管對口堆放→風管安裝前擦洗→風管安裝→現(xiàn)場安裝后保護。

      4.2.  主要工序控制要點

      4.3.  現(xiàn)場準備

      凈化風管的制作,一般可分為工廠集中制作和施工現(xiàn)場制作兩種方式。無論采取那種預制方式,制作場地均要求封閉、清潔,地面為水泥地面或鋪設金屬鋼板,面積一般不小于100m2,且采光、照明條件良好,同時應有足夠的風管堆放場所。大群多晶硅項目一期及一期擴建均采用在預制廠能制作風管。

      4.4.   材料進場檢驗

      凈化系統(tǒng)風管如采用鍍鋅鋼板預制時,鍍鋅層為100號以上的經(jīng)檢查鍍鋅板表面應無明顯劃痕和氧化、銹蝕斑點。

      4.5.   板材表面清洗

      需要下料制作風管的板(卷)材,用對材質表面無損傷的清洗液進行清洗,去除材質表面的油污和積塵,用清潔水清洗掉材質表面的清洗液,并用干凈棉布(紗)將水液擦掉,待其完全干燥后架空待用。

      4.6.   板材放樣劃線

      板材放樣劃線時,要防止損傷板材表面,應使用不生塵的色筆劃線,放樣前應考慮盡可能減少風管的縱向接縫,而且風管橫向不得有接縫。對在劃線中無法避免損壞板材表面的,彩色涂層鋼板,應在受損處涂環(huán)氧樹脂漆;鍍鋅鋼板,應在受損處涂環(huán)氧鋅黃漆進行保護。

      4.7.  板材裁剪下料

      鍍鋅板裁剪下料時,盡可能采用機械方法裁剪,這樣可減少對鍍鋅板面的損傷。為了能有效保護板面,應在剪板機臺面上鋪一層薄鍍鋅鋼板,這樣可防止板材下料中推進拉出磨損鍍鋅層。

      4.8.  空調(diào)潔凈風管制作采用機械咬口,板材的拼接采用單咬口,矩形風管轉角采用聯(lián)合角。

      4.9.  法蘭鉚接

      法蘭與風管鉚接時,風管應稍小于法蘭,且法蘭螺栓孔和鉚釘孔間距不得大于100 mm,在排列法蘭螺栓孔時矩形法蘭盡可能四角設有螺栓孔,這樣有利于安裝后連接緊密。法蘭鉚接后,風管翻邊要平整,并緊貼法蘭平面,翻邊的寬度應≦7mm,且翻邊處的裂縫和法蘭與風管接合部四角處需涂抹密封膠。外法蘭與風管鉚接不得使用抽芯鉚釘,應使用鍍鋅鐵鉚釘。

      4.10.  風管存放

      預制成形的風管,暫不安裝,用塑料布將各管口包扎好,盡可能按系統(tǒng)編號在室內(nèi)集中堆放。在室外堆放時,風管下部應放置墊木,上部用彩條布進行遮蓋風管,以防雨、防風沙及防暴曬。

      4.11.  風管安裝前清洗

      采購的鋼板表面涂有大量的油脂,若不清洗干凈,則會在運輸、安裝及以后的運行過程中染塵,長期使用過程中可能導致一次性的積塵飛揚,使過濾器前的空氣含塵濃度突然增大,這對高效過濾器的使用很不利,所以必須對潔凈風管、靜壓箱及系統(tǒng)部件在安裝前應進行全面清洗。清洗液應選用對板材表面無腐蝕,干燥后不產(chǎn)塵的。清洗的目的主要是除塵和脫脂。除塵可用清水或純水加中性清洗劑,脫脂的方法可用工業(yè)酒精?,F(xiàn)場采用清水和工業(yè)酒精清洗風管清洗時先用清洗液清洗,然后用清水清洗,最后用干凈白布將水痕擦干,如暫時不安裝時,亦可自然風干,但干燥后需將風口封閉好。用白綢布檢驗。不變色為合格,合格以后的風管立即用塑料薄膜封口處理。


      用工業(yè)酒精清洗風管,清洗完的風管用塑料薄膜封口處理

      4.11.1.風管及部件安裝

      (1)風管法蘭連接處的墊料,應選擇不透氣、不產(chǎn)塵、彈性好不易老化的材料,采用軟橡膠板等組成,墊料的厚度5~8mm,接頭處應加工成階梯形或榫接,嚴禁直接對接。

      (2)潔凈室的送風采用頂板送風、底部回風的方式。潔凈風管安裝順序:從主管根部開始向前安裝,先安裝回風立管,在安裝水平風管。技術夾層內(nèi)風管在地面組裝后,在未做保溫前應進行漏光檢查,根據(jù)現(xiàn)場情況可按內(nèi)漏光或外漏光檢查,在漏光處需補密封膠,直至無漏光時方可進行保溫。

      (3)對于等級較高的凈化系統(tǒng)的送回風總管和支干管,在地面組對后除做漏光檢查外,還應做漏風量測試。對于較小的系統(tǒng)可在風管安裝后測試,對于較大的系統(tǒng)盡可能在地面分段組裝后進行,這樣便于發(fā)現(xiàn)問題及時處理。

      (4)潔凈風管的吊裝就位與普通風管一樣,所使用的吊桿、橫擔、膨脹螺栓、保溫風管下部墊木等符合有關規(guī)范和質量驗收標準。

      4.11.2.風管安裝后的防護

      風管安裝后,對暫不安裝的風管口、過濾器口等敞口部位,要及時用塑料布妥善包扎,防止現(xiàn)場灰塵進入已清洗后的風管內(nèi),從而造成管內(nèi)二次污染。

      凈化通風空調(diào)系統(tǒng)風管的預制與安裝涉及過程較長,環(huán)節(jié)較多,所以無論在哪個環(huán)節(jié)控制不嚴,都可能造成整個系統(tǒng)潔凈度達不到設計要求而返工。

      4.12.  通風、空調(diào)設備安裝

      4.12.1.本工程凈化空調(diào)系統(tǒng)采用“AHU+FFU”,即組合式空調(diào)機組和風機過濾器單元FFU是一種自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。FFU一般用于大面積千級及百級潔凈區(qū)域。原因是在大面積區(qū)域使用FFU,當某個設備由于電機、電路故障無法正常工作時,室內(nèi)仍可基本保證潔凈度,不影響車間生產(chǎn)。如果采用潔凈空調(diào)機組,電機壞了整個潔凈廠房。所以FFU適用與電子類千級以上連續(xù)生產(chǎn)潔凈廠房使用。

      4.12.2.由于FFU本身只是通風過濾設備,并沒有新風補充及冷熱源,因此在使用時必必須由新風空調(diào)機組供新風。

      4.12.3.風管與FFU連接時才有不產(chǎn)塵材質的柔性風管連接。預先做好尺寸準確配接管,經(jīng)潔凈處理驗收后封好兩端,運到現(xiàn)場啟封安裝,敞口時間不得過長,并要確保污物灰塵不侵入風管或設備之內(nèi)。

      風淋室安裝 潔凈廠房

       

      4.12.4.高效過濾器安裝

      ①、高效過濾器安裝前必須逐個檢查,過濾器濾紙應無裂縫針孔及其他損壞 (可用強光檢查),其外型尺寸不允許超過±1㎜,對角線尺寸的誤差應不超過±1.5㎜。

      ②、高效過濾器必須待潔凈風管安裝完畢,并全面潔掃、吹洗和試車達到潔凈要求,經(jīng)檢查后立即安裝就位。

      ③、過濾器與框架之間密封墊料應定位粘貼在過濾器邊框上,粘貼前先除凈過濾邊框上的污物。

      ④、安裝時應注意外框上的箭頭要與氣流萬向一致,不得裝反,不得用頭、手或工具等觸摸濾紙,以防損壞。

       

      圍護結構施工技術

      圍護結構采用75厚巖棉夾芯彩鋼板壁板,50厚夾芯彩鋼頂板??偯娣e約為6000平方,施工依據(jù)為《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(GB50591-2010)。

      5.1.潔凈板施工流程


      5.2.彩鋼夾芯板安裝

      5.2.1. 材料進場,潔凈廠房構件應按施工進度計劃要求,運抵安裝現(xiàn)場,輕搬輕放,避免劃傷,并分類整齊堆放,嚴加保管。

      5.2.2. 測量放線,嚴格對照施工圖,現(xiàn)場測定軸線,標高尺寸,清理安裝現(xiàn)場,準確放出大樣。壁板安裝前必須嚴格放線,墻角應垂直交接,防止累積誤差造成壁板傾斜扭曲。壁板的垂直度偏差不大于0.2%。

      5.2.3. 材料檢驗,潔凈室構配件材料安裝前,嚴格檢查其規(guī)格性能和完好程度,不合格或已損壞的構配件材料嚴禁安裝。

      5.2.4. 現(xiàn)場清理,安裝現(xiàn)場必須隨時保持清潔,無積塵,并在施土過程中對零部件和場地隨時清掃、擦凈。

      5.2.5. 結構連接,在施工安裝時,應首先進行吊件、鉚固件等主體結構和樓面、地面的連接件的固定。

      5.3.施工操作

      5.3.1. 按施工程序和金屬壁板安裝工藝節(jié)點具體要求進行施工。

      5.3.2. 地馬槽與地坪的連接必須牢固,不得松動,用射釘間隔100mm左右將地馬槽固定在地面上。裝地馬槽之間的垂直連接處應做好拼縫、拼角連接或預留出R球的位置。

      5.3.3. 壁板與辟板連接必須平整無凹凸,縫隙均勻,注膠平整光滑。安裝時要用吊線錘控制壁板的垂直度,安裝好的板材做好彼此之間的定,以防止壁板整體傾倒。

      5.3.4. 安裝過程中不得撕下壁板表面塑料保護膜,禁止撞擊和踩踏板面。

      5.3.5. 壁板上固定密閉窗,窗框四角鋁合金處理合縫、平整,并且在玻璃安裝之后用橡皮條將玻璃壓緊,還需將窗戶上部和兩邊橡皮條帶膠壓實,以防震動,橡皮條脫落。

      5.3.6. 過濾器送風口、回風口,在壁板安裝時按照設計圖預留孔要求預留,避免施工現(xiàn)場開孔對壁板結構的破壞。

      5.3.7. 根據(jù)設計要求,潔凈區(qū)內(nèi)壁板與頂板相接形成的各個陰陽角均采用鋁合金圓弧型連接。

      5.3.8. 密封膠應平直光滑,不應有間斷、外露、毛邊等現(xiàn)象。

      5.3.9. 壁板安裝同時要配合好電工,將接地扁鐵與地面很好接觸,以消除靜電現(xiàn)象。

      5.3.10.隱蔽驗收,在凈化室安裝的施工過程中必須隨時清掃灰塵,對掩蔽空間的清掃應做好清掃記錄。

      5.3.11.成品保護,加強成品保護教育,對已安裝的成品或半成品嚴加保護,防止被污染及損壞。嚴格按順序施工,做到銜接合理,避免因返工造成材料浪費、成品受損。

      5.3.12.現(xiàn)場管理,制定凈化區(qū)域施工管理制度,控制人物流造成的區(qū)域污染。


      509單元一樓硅芯爐處潔凈板,通風管道施工完

       

      環(huán)氧自流坪施工技術

      6.1.環(huán)氧自流平采取一道底漆,一道中間層、一道自流平面漆的做法。

      6.2.施工準備

      6.2.1. 基層檢查及處理

      6.2.2. 基層檢查包括混凝土含水率的測定、平整度的測定、強度的測定。

      6.2.3. 含水率測定及其處理

      a)  塑料薄膜法(ASTM4263):把45cm×45cm塑料薄膜平放在混凝土表面,用膠帶紙密封四邊16小時后,薄膜下出現(xiàn)水珠或混凝土表面變黑,說明混凝土過濕,不宜涂裝。

      b)  氯化鈣測定法:測定水分從混凝土中逸出的速度,是一種間接測定混凝土含水率的方法。測定密封容器中氯化鈣在72h后的增重,其值應≤46.8g/m2。

      c)  混凝土含水率應小于9%,否則應排除水分后方可進行涂裝。排除水分的方法有以下幾種:

      通風:加強空氣循環(huán),加速空氣流動,帶走水分,促進混凝土中水分進一步揮發(fā)。

      加熱:提高混凝土及空氣的溫度,加快混凝土中水份遷移到表層的速率,使其迅速蒸發(fā),宜采用強制空氣加熱或輻射加熱。直接用火源加熱時生成的燃燒產(chǎn)物(包括水),會提高空氣的霧點溫度,導致水在混凝土上凝結,不宜采用。

      降低空氣中的露點溫度:用脫水減濕劑、除濕器或引進室外空氣(引進室外空氣露點低于混凝土表面及上方的溫度)等方法除去空氣中的水汽。

      6.2.4. 采用工業(yè)吸塵機進行地面的吸塵,清除表面的浮塵。

      6.2.5. 采用高溫火焰噴槍和溶劑清洗的方式清除表面的油污。

      6.2.6. 采用磨光機將表面拉毛,尤其是玻璃條的打磨處理。

      6.3.   環(huán)氧地面施工要點

      6.3.1. 地面清理,去除地表面的松動表層。

      6.3.2. 環(huán)氧砂漿對地面進行修補。

      6.3.3. 底漆施工:根據(jù)材料配比進行配制,在規(guī)定時間內(nèi)上涂。

      6.3.4. 中涂施工:中涂施工比較關鍵,將環(huán)氧色漿、固化劑與適量混合料徑的石英砂充分混合攪拌均勻。中涂層固化后用聚光燈進行地面檢查,發(fā)現(xiàn)不平整時,打磨平整,為面涂提供良好表面。

      6.3.5. 面涂施工:將環(huán)氧色漿及固化劑混合均勻后,可鏝涂、刷涂、輥涂或噴涂,使其自流平,獲得平整均勻的表面涂層。面漆施工12小時后方可上人。

      6.4.   施工驗收:表面平整光潔、色彩一致、無明顯色差。

      6.4.1. 施工面整體無縫、不起灰。

      6.4.2. 產(chǎn)品不開裂、不脫落、不起皮,和基層有良好的附著力。

      6.4.3. 產(chǎn)品表面無針眼、孔洞、旋渦等不良好的現(xiàn)象。

      6.4.4. 顏色均勻,光澤亮麗。

      6.4.5. 產(chǎn)品表面硬化均勻。

      6.4.6. 自流平地板達到產(chǎn)品說明書所列的標準。

      6.5.注意事項:避免在低溫高濕條件下施工;雙組份混合后,應盡快在使用期內(nèi)用完;涂裝完成后,應充分保養(yǎng)后,才能投入使用;應根據(jù)基材平整度狀況和使用要求,確定涂層厚度。地面平整度越差,應采用越厚的涂裝系統(tǒng),涂層載重越大,涂層應越厚,如涂層過薄,使用過程中易損壞。

      后處理裝置二樓硅芯爐處還氧自流坪施工完

       

       

      潔凈廠房的系統(tǒng)調(diào)試及綜合性能檢測

      為滿足甲方生產(chǎn)工藝要求,達到設計要求的潔凈度,對潔凈室進行檢測。檢測目的主要分為兩類,其一是竣工驗收的檢測,其二是檢查潔凈室是否運行正常的檢測。

      7.1.竣工驗收檢測

      7.1.1. 在潔凈室工程中關于竣工驗收的檢測分兩個階段,即竣工驗收和潔凈室綜合性能檢測。按照《GB50591-2010潔凈室施工及驗收規(guī)范》中規(guī)定竣工驗收需要檢測的項目如下:

      1)  通風機數(shù)量及轉速的檢測

      2)  風量測定及平衡

      3)  室內(nèi)靜壓檢測及調(diào)整

      4)  自動調(diào)節(jié)系統(tǒng)的聯(lián)動運轉

      5)  高效過濾器的檢漏

      6)  室內(nèi)潔凈度級別

      總之,此時的檢測多重于調(diào)整,而且可能反復進行多次。

      7.2.潔凈室綜合性能評價檢測是在竣工驗收測定之后進行,需建設、設計、施工單位均需在現(xiàn)場配合,檢測均在空態(tài)或靜態(tài)下進行的。具體檢測項目如下:

      7.2.1. 總送風量、總回風量、新風量、排風量

      7.2.2. 潔凈工作區(qū)的潔凈度、氣壓值

      7.2.3. 室內(nèi)溫度、濕度

      7.2.4. 室內(nèi)照度、噪音

      7.3.主要檢測項目分析

      7.3.1. 基本項目的重要性:國標GB50073-2013中規(guī)定:潔凈度、正壓、風速或風量是三個基本的必測項目。

      7.3.1.1.潔凈室需要密閉和維持正壓。作為潔凈室圍護物的密閉性是必須的,而且在潔凈室內(nèi)必須維持正壓,也就是說有不嚴密處或開門時,空氣只能由內(nèi)往外流,外界含塵空氣不能向潔凈室內(nèi)流,很難保證潔凈度,所以在系統(tǒng)調(diào)試正確后,首先檢查正壓是否存在。

      7.3.1.2.通入潔凈室的風必須經(jīng)過凈化,這是形成潔凈室的最主要因素。新風進入潔凈室需要經(jīng)過初效、中效和高效三級過濾,進風基本不含0.5um以上的粒子。過濾器的安裝會發(fā)生泄漏,過濾器在運輸過程中也會發(fā)生不易察覺的損壞。所以對過濾器進行抽檢是必要的。

      7.3.1.3.   凈化空氣必須換氣充足。在潔凈室運轉中,工作人云本身和操作過程中均會產(chǎn)生粒子,所以單有進風過濾是不夠的,潔凈室內(nèi)所產(chǎn)生的粒子是被不含敏感粒子(或極少)的潔凈空氣所稀釋(亂流),當所產(chǎn)生的粒子被稀釋到一定程度隨排風流走的時候,就達到了一種動態(tài)平衡,因此才會有級別越高的亂流潔凈室換氣次數(shù)越大(稀釋越充分)的要求。

      7.4.測試前的準備

      對潔凈室內(nèi)及其凈化空調(diào)系統(tǒng)進行徹底的檢查與清掃。對因輸送大風量、大風速的空氣在一個出口輸出兒可能會引起的凈化車間內(nèi)空氣紊亂,塵土飛揚污染本身和其它風管系統(tǒng)等,可采取一定的技術措施來防止,即將風管作為負壓段,送風口作為正壓段,循環(huán)吹掃,并將空調(diào)器中的有關部件拆下。

      高效過濾器應用密封袋封裝,安裝時方可啟封。為防止運輸過程中無法預料的損壞,啟封后首先進行逐件透光檢查,并在現(xiàn)場設簡易檢測裝置,如靜壓箱、管道、風機,對高效過濾器逐個進行塵埃粒于掃描,凡不符合技術指標的均不予裝用,以確保工程質量,減少返修工程量。

      7.5.潔凈度測試方法:

      7.5.1. 嚴格按照GB50591-2010《潔凈室施工及驗收規(guī)范》。

      7.5.2. 潔凈度的測試:采用光學粒子計數(shù)器,選取適當?shù)臏y點,取樣位置可在作業(yè)區(qū)的正上方,按每立萬英尺內(nèi)的0.5Um及以上的塵粒數(shù)確定。

      7.5.3. 溫濕度的測試:采用溫濕傳感器可分別測試得溫度和濕度,傳感器應裝于作業(yè)區(qū)的附近,測得的數(shù)據(jù)可在中央管理機上顯示。

      7.5.4. 室內(nèi)壓力的測試:使用擴散形硅的壓力傳感器上得壓力,輸出信號一般為4—20mA,這種輸出信號對于測定壓力具有線性。壓力數(shù)值可在中央管理機上顯示。

      7.5.5. 氣流速度的測試,使用風速儀測定作業(yè)區(qū)的送風面上的風速,可計層流工作區(qū)域的平均風速及其均勻性。

      參考文獻

      1.  GB50243—2002《通風與空調(diào)工程施工質量驗收規(guī)范》

      2.  GB50242—2002《建筑給水排水與采暖工程施工質量驗收規(guī)范》

      3.  GB50591-2010《潔凈室施工及驗收規(guī)范》

      4.  GB50073—2013《潔凈廠房設計規(guī)范》

      5.  陳霖新等《潔凈廠房設計與施工》化學工業(yè)出版社2003年

      6.  宋功業(yè)等《潔凈廠房工程施工技術及質量控制》機械工業(yè)出版社2009

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