隨著技術(shù)水平的提高，無塵環(huán)境被廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的生產(chǎn)過程中，以確保產(chǎn)品的零污染和高質(zhì)量要求。

　潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。是指在一定空間范圍內(nèi)去除空氣中的微粒、有害空氣和細(xì)菌等污染物，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲、振動、照明和靜電控制在一定需求范圍內(nèi)的專門設(shè)計的房間。 

　　 

　　一、潔凈室管控項目 

　　正如前面潔凈室的定義所講，潔凈室不單要對塵埃粒子的占有量進(jìn)行要求， 

　　而且對整個環(huán)境等的相關(guān)因素進(jìn)行管控，具體項目如下： 

　　1.能除去空氣中飄游之微塵粒子；2.能防止微塵粒子之產(chǎn)生 

　　3.溫度和濕度之控制；4.壓力之調(diào)節(jié) 

　　5.有害氣體之排除；6.結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性；7.靜電之防制；8.電磁干擾預(yù)防；9.安全因素之考慮。 

　　10.節(jié)能之考量 

　　 

　　二、潔凈室凈化等級劃分標(biāo)準(zhǔn) 

　　世界各國均有自定行的定義規(guī)格，但目前比較普遍通用的還是美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E和日本采用公制以每立方公尺為單位的ISO標(biāo)準(zhǔn)。 

　　209E標(biāo)準(zhǔn)中潔凈室等級以“M”字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)字是以每立方公尺中≥0.5μm之微塵粒子的數(shù)目以10的冪次方表示，取其指數(shù)表示。若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5等表示。 

　　日本在209E標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上采用公制單位，即以每立方公尺為計數(shù)單位的ISO標(biāo)準(zhǔn)。以0.1μm微粒子為計數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class9表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 9。 

　　 

　　三、潔凈室分類 

　　按照潔凈室的架構(gòu)不同而分為紊流式、層流式、復(fù)合式三種。 

　　1.紊流式 

　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 

　　優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。 

　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。 

　　2.層流式 

　　空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由對立面的地板或隔墻板排風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為100以下。 

　　優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。 

　　缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。 

　　3.復(fù)合式 

　　復(fù)合式為將紊流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。 

　　 

　　四、潔凈室氣流之流動 

　　潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素趨于混亂。 

　　1.氣流速度數(shù)值在0.2~0.52m/s之間，屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器動作的干 

　　擾趨于混亂。雖提高風(fēng)速可抑制此干擾，但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。 

　　2.換氣次數(shù)（氣流速度的展現(xiàn)） 

　　 凈化等級與換氣次數(shù)的對應(yīng)關(guān)系： 

　　 100級 ≥360次/h 

　　 1000級 ≥150次/h 

　　 10000級 ≥25次/h 

　　 100000級 ≥15次/h 

　　 

　　五、潔凈室塵埃測量標(biāo)準(zhǔn) 

　　潔凈室塵埃測量需按照如下要求進(jìn)行： 

　　1.靜態(tài)測量 

　　環(huán)境自凈20min后，方可測量 

　　2.測量點(diǎn)選擇 

　　在距離地板最少1.2m處測量（即在所需的工作臺面上測量） 

　　3.風(fēng)機(jī)及Hepa檢驗時（風(fēng)速、塵埃數(shù)量） 

　　在Hepa下方3cm處取其四角、中心五點(diǎn)進(jìn)行檢驗 

　　 

　　六、潔凈室的保養(yǎng) 

　　潔凈室屬于一套自帶獨(dú)立功能的復(fù)雜設(shè)備，正如其他自動化設(shè)備一樣，同樣需要定期、如時的保養(yǎng)維護(hù)。只有維護(hù)保養(yǎng)到位，其凈化功能才能淋漓盡致的發(fā)揮，最終達(dá)到使用者對環(huán)境質(zhì)量預(yù)期的管控效果。潔凈室的保養(yǎng)主要涉及以下內(nèi)容： 

　　1.高效過濾器的功效檢查及保養(yǎng) 

　?。?）泄露測量/季。在過濾器下方3cm左右處進(jìn)行塵埃顆粒量測，含及整個過濾面，逐行量測。 

　?。?）壓損測量/季。壓損即指風(fēng)機(jī)排出的氣流經(jīng)高效過濾（阻塞）后的損失。 

　　2.初效過濾器的維護(hù)保養(yǎng) 

　　初效過濾器是FFU組合中的第一道濾網(wǎng)，也是室外空氣進(jìn)入潔凈室的第一道關(guān)口。過濾水平通常為30~65%左右，是否可能